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  • FSM 128薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備

    美國(guó)FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備:在襯底鍍上不同的薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會(huì)引起應(yīng)力。 如應(yīng)力太大會(huì)引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問(wèn)題。 薄膜應(yīng)力激光測(cè)量?jī)x利用激光測(cè)量樣本的形貌,透過(guò)比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號(hào):FSM 128
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:5971
  • FSM 500TC高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備

    美國(guó)FSM 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備:美國(guó)FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來(lái)為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測(cè)量設(shè)備。

    更新時(shí)間:2024-11-09
    型號(hào):FSM 500TC
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:5078
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